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Mikropositionierung

Messungen an Opto-Halbleiter-Bauteilen müssen häufig an der Position des optischen Maximums erfolgen. Mit unseren Mikropositioniersystemen MIPO auf der Basis der drei Hauptkomponenten -  Piezo-Steller, Messelektronik und Echtzeitrechner - sind je nach Anwendung Suchzeiten von wenigen Zehntel Sekunden und Positioniergenauigkeiten von kleiner als 1 µm erreichbar.

Der Betrieb des Bauteils und die Messung im Maximum erfolgen in der Regel mit kalibrierten Messgeräten wie SMUs oder Lasercontrollern. Für die Maximumsuche ist das Signal auf die Elektronik von MIPO umzuschalten. Nur so kann schnell genug gemessen werden, um kurze Suchzeiten zu erreichen.

Die Mechanik wird an die jeweilige Applikation angepasst, wobei die Platzverhältnisse und die Größe des Suchfensters entscheidenden Einfluss auf die  Auswahl der Piezosteller und deren Anordnung haben. Nachfolgend sind im Einsatz befindliche Beispiele gezeigt. Darüber hinaus existieren weitere Ausführungen, bei denen z.B. eine Zuführung der Faser an die Unterseite des Wafers oder die Integration von Linsensystemen erfolgt.

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Beschreibung

System zur automatischen Positionierung einer optischen Faser. Anwendungsgebiet ist das Proben von Laserdioden. Dazu wird die Einheit in einen Wafer-Prober integriert. Die Position der Single-Mode-Faser wird automatisch so ausgeregelt, dass eine optimale Einkopplung des Laserstrahl in die Single-Mode-Faser erfolgt. Der Suchalgorithmus ist auf einer intelligenten, echtzeitfähigen PC-Einsteckkarte realisiert. Eine HF-Kontaktiereinheit vervollständigt das System.

Technische Daten Manuelle Grobjustierung des Faser-Arms in X, Y und Z-Richtung Einheit kann komplett ausgeschwenkt und lagegenau wieder eingeschwenkt werden, um den Einblick mit einer Mikroskop-Optik zu ermöglichen. Rechnergesteuerte Feinjustage der optischen Faser in XY-Richtung ±180µm. Positioniergenauigkeit ±1µm Suchdauer ca. 400ms Optisches Linsensystem zur Einkopplung des Laserstrahls in Singe-Mode-Faser Prüfling-Kontaktierung durch HF-Probe und Nadelkarte, Typ nach Anforderung des Kunden Messtechnik zum Messen der optischen Leistung während der Optimumsuche, kundenspezifisch anpassbar. Ansteuerung und Regelung mittels echtzeitfähiger, intelligenter PC-Einsteckkarte DLL-Interface für 32bit-Windows zur Einbindung in Mess-Software Software zur Durchführung und Darstellung von Flächenscans, sowie zur Parametrierung und Diagnose.

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Beschreibung

System zur automatischen Positionierung einer optischen Faser beim Wafer-Proben. System ist speziell für sehr geringe Abstände zwischen Kontaktier-Pins und optisch aktivem Bereich optimiert. Die Position der Faser wird automatisch so ausgeregelt, dass eine optimale Einkopplung des Laserstrahl in die Single-Mode-Faser erfolgt. Der Suchalgorithmus ist auf einer intelligenten, echtzeitfähigen PC-Einsteckkarte realisiert. Faseraufnahme und HF-Kontaktierung des Prüflings erfolgen auf zwei separaten, parallel geführten Armen.

Technische Daten Manuelle Grobjustierung des Faser-Arms in X, Y und Z-Richtung Faser- und Kontaktier-Arme können komplett ausgeschwenkt und lagegenau wieder eingeschwenkt werden. Rechnergesteuerte Feinjustage der optischen Faser in XY-Richtung ±100µm. Positioniergenauigkeit ±1µm Suchdauer ca. 400ms Prüfling-Kontaktierung durch HF-Probe mit justierten Kantentastern, Typ nach Anforderung des Kunden Messtechnik zum Messen der optischen Leistung während der Optimumsuche, kundenspezifisch anpassbar. Ansteuerung und Regelung mittels echtzeitfähiger, intelligenter PC-Einsteckkarte DLL-Interface für 32bit-Windows zur Einbindung in Mess-Software Software zur Durchführung und Darstellung von Flächenscans, sowie zur Parametrierung und Diagnose.

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